 회사소개 |
현재 추진되고 있는 대표적인 사업으로는 "193 nm ArF Excimer Laser를 이용한 Haze 가속기“와 "Glass Scribing M/C" 개발이 있다. Haze 가속기란 반도체 노광공정에서 0.2um 이하의 미세 선폭 구현시 소자 불량의 중요한 원인중 하나인 Haze를 강제로 생성시켜 그 변화를 측정할 수 있는 장비이며, Glass Scribing M/C은 FPD(Flat Pannel Display)의 기판이 되는 유리를 다양한 모양과 크기로 절단할 수 있는 장비이다. |
대표이사 : 김현주
마케팅: 02-2624-0896